Потребность в надежной системе управления для новой установки.
Разработка системы управления (СУ) проходной вакуумной высокопроизводительной установкой «КВУ-Зеркало».
«КВУ-Зеркало» по производительности соответствует 24 установкам ВУ-2М при нанесении зеркального покрытия на подложки размером 400х200 мм при энергозатратах эквивалентных одной установке ВУ-2М.
СУ управляет работой всех механизмов установки и, благодаря развитой коммуникационной системе, «общается» с блоками питания магнетронов и ионного источника, вакуумметрами, компьютером и т.д.
С целью оптимизации проекта, для его дальнейшего сопровождения и расширения, при разработке программы ПЛК были использованы несколько языков программирования, соответствующие стандарту IEC 61131-3, а также аналитические методы настройки ПИД-регулятора, который управляет напуском аргона в камеру напыления через пропорциональный клапан фирмы SMC серии PVQ посредством ШИМ, поддерживая тем самым заданное в технологической карте давление в камере напыления.
Программное обеспечение (ПО) АРМ-оператора было разработано в интегрированной среде разработки Visual Studio с использованием стандартных библиотек нашей компании.
Нет в наличии товара
Будет доступен: