Линия вакуумного напыления "КВУ-Зеркало"

Предпосылки проекта:

Потребность в надежной системе управления для новой установки.

Цель проекта:

Разработка системы управления (СУ) проходной вакуумной высокопроизводительной установкой «КВУ-Зеркало».

Описание проекта:

«КВУ-Зеркало» по производительности соответствует 24 установкам ВУ-2М при нанесении зеркального покрытия на подложки размером 400х200 мм при энергозатратах эквивалентных одной установке ВУ-2М.

СУ управляет работой всех механизмов установки и, благодаря развитой коммуникационной системе, «общается» с блоками питания магнетронов и ионного источника, вакуумметрами, компьютером и т.д.

С целью оптимизации проекта, для его дальнейшего сопровождения и расширения, при разработке программы ПЛК были использованы несколько языков программирования, соответствующие стандарту IEC 61131-3, а также аналитические методы настройки ПИД-регулятора, который управляет напуском аргона в камеру напыления через пропорциональный клапан фирмы SMC серии PVQ посредством ШИМ, поддерживая тем самым заданное в технологической карте давление в камере напыления.

Программное обеспечение (ПО) АРМ-оператора было разработано в интегрированной среде разработки Visual Studio с использованием стандартных библиотек нашей компании.

Результаты проекта:

• Разработанное ПО имеет интуитивно понятный интерфейс и позволяет допускать к управлению установкой персонал без проведения длительного курса обучения;
• АРМ-оператора позволяет вести архив всех параметров работы установки, аварий, событий и действий оператора;
• Реализована возможность ведения базы технологических карт;
• На данном типе оборудования можно наносить оптические покрытия, имеющие значительно меньшую себестоимость чем на серийных установках ВУ-2М и ВУ-1А и имеющие лучшие эксплуатационные характеристики.