Новое Линия вакуумного напыления "КВУ-Зеркало" Увеличить

Линия вакуумного напыления "КВУ-Зеркало"

Целью данного проекта была разработка системы управления (СУ) проходной вакуумной высокопроизводительной установкой «КВУ-Зеркало» на базе программируемого логического контроллера XC100 фирмы EATON, модулей ввода/вывода серии XIOC и компьютера.

«КВУ-Зеркало» по производительности соответствует 24 установкам ВУ-2М при нанесении зеркального покрытия на подложки размером 400х200 мм при энегозатратах эквивалентных одной установке ВУ-2М. На данном типе оборудования можно наносить оптические покрытия имеющие значительно меньшую себестоимость чем на серийных установках ВУ-2М и ВУ-1А и имеющие лучшие эксплуатационные характеристики.

Установка является авторской разработкой и является уникальной на территории стран СНГ.

Подробнее

Общее описание

СУ управляет работой всех механизмов установки и, благодаря развитой коммуникационной системе, «общается» с блоками питания магнетронов и ионного источника, вакуумметрами, компьютером и т.д.

С целью оптимизации проекта, для его дальнейшего сопровождения и расширения, при разработке программы ПЛК были использованы несколько языков программирования, соответствующие стандарту IEC 61131-3, а также аналитические методы настройки ПИД-регулятора, который управляет напуском аргона в камеру напыления через пропорциональный клапан фирмы SMC серии PVQ посредством ШИМ, поддерживая тем самым заданное в технологической карте давление в камере напыления.

Программное обеспечение (ПО) АРМ-оператора было разработано в интегрированной среде разработки Visual Studio с использованием стандартных библиотек нашей компании. ПО имеет интуитивно понятный интерфейс и позволяет допускать к управлению установкой персонал без проведения длительного курса обучения. АРМ-оператора позволяет вести архив всех параметров работы установки, аварий, событий и действий оператора. Также имеется возможность ведения базы технологических карт.

Для предотвращения недопустимых, случайных или преднамеренных действий в СУ была добавлена мощная система блокировок, позволяющая исключить возможность поломки дорогостоящего оборудования из-за действий оператора или преднамеренных действий третьих лиц.

На протяжении всего периода разработки СУ постоянно учитывались требования и пожелания заказчика, недостатки оперативно исправлялись в ходе пуско-наладочных работ (ПНР).